LE CREUSOT : Une conférence sur les Microsystèmes ... - Creusot-infos.com

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LE CREUSOT : Une conférence sur les Microsystèmes ...
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Un MEMS se compose typiquement d'une structure de dimension micrométrique en deux parties (l'une fixe, l'autre mobile) et d'un circuit électronique. Le mouvement relatif entre les deux parties mécaniques est traduit en signal électrique par le circuit ...