Höchste Präzision im Sub-Mikrometer-Bereich

Maskenlose Lithographie-Subsysteme werden für Leiterplatten, Halbleiter und die Additive Fertigung verwendet. Sie stellen hohe Anforderungen auch an die verbaute Antriebstechnik. Ein Mehrkanalsystem bestehend aus Motion Controller und Antrieben verpricht Präzision bis in den Sub-µm-Bereich.