ASML Twinscan EXE:5200B: Intel nimmt erstes verbessertes High-NA-System in Betrieb

Im Juli hatte ASML die Auslieferung bestätigt, nun vermeldet Intel die Installation: ein Twinscan EXE:5200B soll den Weg zur Serie ebnen. Denn der größte Fortschritt hier ist der viel höhere Durchsatz pro Stunde, der zur wirtschaftlich tragbaren Serienfertigung auch benötigt wird.